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| 型號 | QJ1200-CVD60 | QJ1700-CVD60 |
| 工作溫度 | ≤1100℃ | ≤1600℃ |
| 升溫速率 | 10℃/min | 10℃/min |
| 氣體預熱區 | 無 | 200mm |
| 加熱區長度 | 200/440mm | 200/300mm |
| 恒溫區長度 | 100/220mm | 50/100mm |
| 管徑 | 50/6/80/100mm | 50/60/80mm |
| 控溫方式 | 30段PID程序控溫 | 30段PID程序控溫 |
| 真空泵 | 機械泵/分子泵 | 機械泵/分子泵 |
| 真空度 | ≤10-3Pa | ≤10-3Pa |
| 進氣種類 | 1~4種 | 1~4種 |
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